Азот трифториди (NF3) Жогорку тазалыктагы газ
Негизги маалымат
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Бул эмне материал?
Азот трифториди (NF3) бөлмө температурасында жана атмосфералык басымда түссүз жана жытсыз газ. Аны орточо басымда суюлтса болот. NF3 нормалдуу шарттарда туруктуу жана тез чирибейт. Бирок, ал жогорку температурага дуушар болгондо же айрым катализаторлордун катышуусунда чирип кетиши мүмкүн. NF3 атмосферага чыкканда глобалдык жылуулуктун жогорку потенциалына (GWP) ээ.
Бул материалды кайда колдонуу керек?
Электроника тармагында тазалоочу агент: NF3 жарым өткөргүчтөрдүн, плазма дисплей панелдеринин (PDPs) жана башка электрондук компоненттердин беттеринен оксиддер сыяктуу калдыктарды тазалоо үчүн тазалоочу агент катары кеңири колдонулат. Ал бул беттерди бузбастан эффективдүү тазалай алат.
Жарым өткөргүчтөрдү жасоодо офорттук газ: NF3 жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процессинде офорттук газ катары колдонулат. Ал кремний диоксиди (SiO2) жана кремний нитриди (Si3N4) менен офорттоодо өзгөчө эффективдүү, алар интегралдык микросхемаларды жасоодо кеңири колдонулат.
Жогорку тазалыктагы фтор кошулмаларын өндүрүү: NF3 ар кандай фтор камтыган бирикмелерди өндүрүү үчүн фтордун баалуу булагы болуп саналат. Бул фторполимерлерди, фторкарбондорду жана атайын химиялык заттарды өндүрүүдө прекурсор катары колдонулат.
Жалпак панелдик дисплейди өндүрүүдө плазманы түзүү: NF3 суюк кристалл дисплейлери (LCDs) жана PDPs сыяктуу жалпак панелдик дисплейлерди өндүрүүдө плазманы түзүү үчүн башка газдар менен бирге колдонулат. Плазма панелди жасоодо чөктүрүүдө жана оюу процесстеринде маанилүү.
Бул материалды/продукцияны колдонуу үчүн атайын колдонмолор жана эрежелер өлкөгө, тармакка жана максатка жараша өзгөрүшү мүмкүн экенин эске алыңыз. Бул материалды/продукцияны кандайдыр бир тиркемеде колдонуудан мурун ар дайым коопсуздук эрежелерин сактаңыз жана эксперттен кеңеш алыңыз.
